下载一种非金属射频导入装置的技术资料

文档序号:17314907

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本实用新型公开了一种非金属射频导入装置,包括:射频枪体,其中射频枪体的端部间隔设置有凸起的第一支撑部和第二支撑部,其中第一支撑部设有第一收容槽,第二支撑部设有第二收容槽;微晶管推进器,收容在第一收容槽和第二收容槽上;射频枪头,设置在射频枪体...
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