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流化床反应器和用于生产多晶硅颗粒的方法技术
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文档序号:17309223
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本发明涉及用于生产多晶硅颗粒的流化床反应器,包括反应器容器(1)、反应器容器(1)内的反应器管(2)和反应器底部(15)。反应器管(2)由主要部分和表面涂层组成,并且中间壳体(3)位于反应器管(2)的外壁和反应器容器(1)的内壁之间。流化床...
该专利属于瓦克化学股份公司所有,仅供学习研究参考,未经过瓦克化学股份公司授权不得商用。
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