温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供在流体填充过程期间减少静摩擦的装置及方法。装置(400)可包含两个衬底(404,422)，其中在所述衬底中的至少一者上有可移动MEMS组件。所述装置可包含在所述两个衬底之间并环绕或至少部分环绕所述可移动MEMS组件的流体(430)...
该专利属于追踪有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过追踪有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。