下载晶体管及其制造方法的技术资料

文档序号:17306231

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本发明公开了一种晶体管及其制造方法,所述方法包含:(i)在基材上方形成金属氧化物半导体层;(ii)在金属氧化物半导体层的不同两侧上方形成源极和漏极;(iii)在源极、漏极以及金属氧化物半导体层上方形成介电层;(iv)在介电层上方形成含氢绝缘...
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