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本发明公开了一种信号发生器辅助射频电源调谐方法，包括：信号处理模块、内部时钟模块、功率放大模块、隔离变压器模块、四极杆总成、反馈控制模块；通过先用信号发生器进行大范围频率扫描，找到调谐频率，根据测出四极杆的电容值和LC谐振频率计算公式算出需...
该专利属于江苏天瑞仪器股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏天瑞仪器股份有限公司授权不得商用。

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