下载单次曝光高数值孔径脉冲激光相干衍射成像装置、使用方法的技术资料

文档序号:17303631

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本发明公开了一种单次曝光高数值孔径脉冲激光相干衍射成像装置及使用方法,所述装置包括沿光束前进方向依次共轴设置有脉冲激光器(1)、衰减片(2)、偏振镜(3)、第一透镜(4)、光阑(5)、样品台(6)、反光镜组(7)、带孔反光镜(8)、光束收集...
该专利属于山东建筑大学所有,仅供学习研究参考,未经过山东建筑大学授权不得商用。

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