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本发明公开了一种基于频率可变脉冲技术的器件表面态陷阱测量方法，主要解决现有技术无法测量器件表面态陷阱分布的问题。其实现方案是：在与被测器件电极下相同的半导体材料表面制备两个肖特基接触电极，完成测试图形的制作；对测试图形施加不同频率的脉冲电压...
该专利属于西安电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安电子科技大学授权不得商用。

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