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本实用新型属于微光机电(MOEMS)领域，具体涉及一种静电梳齿驱动的振镜。包括结构层、绝缘层及支撑层；结构层上分布有梳齿驱动机构、扭转梁、扭转梁固定锚点及反射镜面；梳齿对设置在扭转梁的两侧并且梳齿对分布与扭转梁之间的夹角大于0度小于90度，...
该专利属于西安知微传感技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安知微传感技术有限公司授权不得商用。

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