下载一种高绝缘性纳米防护涂层的制备方法的技术资料

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一种高绝缘性纳米防护涂层的制备方法,属于等离子体技术领域,该方法中,将反应腔室抽真空度,并通入惰性气体,使基材产生运动,通入单体蒸汽到反应腔室内,开启等离子体放电,进行化学气相沉积,在基材表面化学气相沉积制备高绝缘性纳米涂层,单体蒸汽成分为...
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