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本实用新型公开了一种垂直走向的光电纠偏系统，包括纠偏基座、传动导辊、水平滑块导轨、机台底架、推杆和光电纠偏控制器，所述的纠偏基座的上下两端均固定有传动导辊，所述的纠偏基座的底部连接水平滑块导轨，所述水平滑块导轨固定在机台底架上，所述的机台基...
该专利属于江苏美光新材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏美光新材料科技有限公司授权不得商用。

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