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本实用新型涉及一种过程零介入的智能型磁控溅射真空镀膜机，包括溅射室、真空抽气系统、充气系统、监测系统、控制系统，其特征在于，所述监测系统包括用于监测膜层厚度的膜厚测量装置、用于监测极靶温度的极靶测温探头、用于监测极靶内冷却水温的水温探头、用...
该专利属于金华万得福日用品股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过金华万得福日用品股份有限公司授权不得商用。

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