下载紫外LED外延结构及其生长方法的技术资料

文档序号:17266885

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本发明提供一种紫外LED外延结构的生长方法,关键在于有源区多量子阱的特殊生长工艺:具体是将LP和PAL作为一个整体超晶格生长,生长周期5‑20个,Mg的掺杂采取屋脊型渐变掺杂,即Mg的掺杂先渐变升高,到达峰值后,再渐变降低,呈对称分布。通过...
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