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具有极化但无源的PZT约束层的多层PZT微致动器制造技术
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下载具有极化但无源的PZT约束层的多层PZT微致动器的技术资料
文档序号:17266540
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一种多层压电微致动器组件具有至少一个极化且有源的压电层以及一个极化但无源的压电层。该极化但无源层用作抵抗第一压电层的扩展或收缩的约束层,从而减少或消除了安装在环境中的组件的弯曲,从而增大了该组件的有效冲程长度。仅使单一层极化会在该装置中感生...
该专利属于马格内康普公司所有,仅供学习研究参考,未经过马格内康普公司授权不得商用。
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