下载一种基于三片SCMOS探测器的机械交错拼接装置的技术资料

文档序号:17264414

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本实用新型公开了一种基于三片SCMOS探测器的机械交错拼接装置,通过在支撑工作平台上固定负压吸附导轨和安装基板,负压吸附导轨上端固定安装有显微镜,安装基板上通过第一紧固螺钉固定有多个研磨垫片,研磨垫片上通过第二紧固螺钉固定有单片SCMOS探...
该专利属于中国科学院光电研究院;西安瑞峰光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院光电研究院;西安瑞峰光电技术有限公司授权不得商用。

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