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一种调制结构的有机硅纳米防护涂层的制备方法,属于等离子体技术领域,该方法中,将反应腔室抽真空度,并通入惰性气体,使基材产生运动,交替进行有机硅涂层制备和有机氟碳涂层制备,形成有机硅‑氟碳的调制多层致密结构,有机硅单体蒸汽成分为:至少一种含双...该专利属于江苏菲沃泰纳米科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏菲沃泰纳米科技有限公司授权不得商用。
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一种调制结构的有机硅纳米防护涂层的制备方法,属于等离子体技术领域,该方法中,将反应腔室抽真空度,并通入惰性气体,使基材产生运动,交替进行有机硅涂层制备和有机氟碳涂层制备,形成有机硅‑氟碳的调制多层致密结构,有机硅单体蒸汽成分为:至少一种含双...