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本发明公开了一种半导体二硫化钼薄膜材料的制备方法,该工艺利用酸洗和碱洗清洗活化陶瓷薄膜基底,应用磁控溅射技术将二硫化钼溅射至陶瓷薄膜表层,进而退火得到半导体二硫化钼薄膜材料。制备而成的半导体二硫化钼薄膜材料,其制作工艺简单、导电性能好、光电...该专利属于苏州云舒新材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州云舒新材料科技有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种半导体二硫化钼薄膜材料的制备方法,该工艺利用酸洗和碱洗清洗活化陶瓷薄膜基底,应用磁控溅射技术将二硫化钼溅射至陶瓷薄膜表层,进而退火得到半导体二硫化钼薄膜材料。制备而成的半导体二硫化钼薄膜材料,其制作工艺简单、导电性能好、光电...