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本发明提供一种成膜装置，该成膜装置包括：掩膜，用于使待蒸镀材料在基板的表面形成预设图案的薄膜；支撑件，用于支撑所述基板；对位机构，用于对所述掩膜和所述基板进行对位；磁体，用于将所述掩膜吸附至所述基板的表面，以使所述掩膜与所述基板贴合；拉伸部...
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