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本实用新型提供了一种干式微小颗粒分离装置。其结构包括真空室，在所述真空室内水平设置有上极板和下极板，上极板接地线，下极板连接射频电源的功率电极；在下极板上设置有颗粒分离器，颗粒分离器包括位于中间呈前后并行排列的内侧带棘齿的两个竖向的棘齿板以...
该专利属于河北大学所有，仅供学习研究参考，未经过河北大学授权不得商用。

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