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文档序号:17260052
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本发明提供了一种输送装置,包括至少一条输送机构,在输送机构上设置有传送板,所述传送板上设有可升降的支撑脚以及设于传送板四周上的基板固定夹。与现有技术相比,通过传送板对基板进行承载,使基板与输送机构之间不直接接触;在传送板上设置可升降的支撑脚...
该专利属于武汉华星光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉华星光电技术有限公司授权不得商用。
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