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方法通过以下方式形成多孔聚氨基甲酸酯抛光垫:使热塑性聚氨基甲酸酯凝结产生多孔基质,所述多孔基质具有从基底表面向上延伸并且对上表面开放的大孔隙。所述大孔隙与小孔隙互连。加热压机到低于或高于所述热塑性聚氨基甲酸酯的软化起始温度的温度形成一系列枕...该专利属于罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司授权不得商用。
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