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形状测定装置和形状测定方法制造方法及图纸
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下载形状测定装置和形状测定方法的技术资料
文档序号:17255028
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提供一种形状测定装置,该形状测定装置在通过光切法来对测定对象物的凹凸形状进行测定时,即使测定对象物与摄像装置之间的距离发生变动,也能够高精度地对测定对象物的形状进行测定。形状测定装置具备:线状光位置检测部,其根据利用摄像装置对由线状光照射装...
该专利属于新日铁住金株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过新日铁住金株式会社授权不得商用。
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