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一种基于夏克‐哈特曼波前传感器的光学系统波像差测量装置制造方法及图纸
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下载一种基于夏克‐哈特曼波前传感器的光学系统波像差测量装置的技术资料
文档序号:17246279
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本实用新型公开了一种基于夏克‐哈特曼波前传感器的光学系统波像差测量装置,该装置包括波长可调谐激光器、衰减器、聚焦物镜、Y型光纤耦合器、第一五维调整台、第一物镜、第一小孔板、准直物镜、分光板、第一夏克‐哈特曼波前传感器、成像物镜、待测光学系统...
该专利属于中国科学院光电研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院光电研究院授权不得商用。
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