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一种微流控传感器芯片系统及其制备方法，包括依次键合叠加的衬底层、一或多层微流控芯片层、一或多层传感器芯片层以及传感器承载层，其中所述传感器芯片层与所述传感器承载层组合成为传感器层，每个传感器层分别对应于一层微流控芯片中的不同微流道或多层微流...
该专利属于清华大学深圳研究生院所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学深圳研究生院授权不得商用。

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