下载一种水冷笼式高频感应耦合等离子体反应器的技术资料

文档序号:17223832

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本实用新型公开了一种水冷笼式高频感应耦合等离子体反应器,包括放电约束管外层、放电约束管内层、上紧固件、冷却水适配件、下紧固件、进气适配件和螺旋铜线圈,本实用新型放电约束管内层对放电区域进行约束,同时放电约束管内层上端向下开槽,使放电约束管除...
该专利属于中国航天空气动力技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国航天空气动力技术研究院授权不得商用。

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