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MEMS加速度传感器制造技术
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文档序号:17221322
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MEMS加速度传感器。本实用新型涉及一种MEMS加速度传感器。所述的带外螺纹的测试杆Ⅰ与带外螺纹的测试杆Ⅱ装入直线卡槽Ⅰ与直线卡槽Ⅱ内,所述的直线卡槽Ⅰ与直线卡槽Ⅱ开在长方形外壳体背面;所述的长方形外壳体的正面设置电源开关,所述的电源开关的...
该专利属于中国地震局工程力学研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国地震局工程力学研究所授权不得商用。
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