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可控层数的大面积二维过渡族金属化合物薄膜及其制备方法技术
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文档序号:17213046
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本发明属于薄膜制备技术领域,具体为一种可控层数的大面积二维过渡族金属化合物薄膜及其制备方法。本发明的过渡族金属化合物薄膜的基本化合化学式为MX2,其中M为V族元素,X为硫族元素。本发明制备方法,包括先在衬底上淀积一层前驱体,然后化学气相淀积...
该专利属于复旦大学所有,仅供学习研究参考,未经过复旦大学授权不得商用。
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