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本发明公开了一种基于离子束溅射沉积薄膜的面形可控保偏分色片。该保偏分色片以石英为基底，Ta2O5和SiO2分别作为高、低折射率镀膜材料，光线22.5°倾斜入射。采用离子束溅射薄膜沉积工艺，基片的一侧镀制保偏分色膜层，实现光谱分色控制以及保偏...
该专利属于中国科学院上海技术物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海技术物理研究所授权不得商用。

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