下载微机电谐振结构、谐振器及压力传感器的技术资料

文档序号:17193321

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本公开提供了一种微机电谐振结构、谐振器及压力传感器。该谐振结构包括:环形谐振主梁;环形谐振辅梁,设置于环形谐振主梁的外侧;2N个第一连接块,匀设于环形谐振主梁和环形谐振辅梁之间的环形空间内,对于每一个第一连接块,其内侧刚性连接至环形谐振主梁...
该专利属于机械工业仪器仪表综合技术经济研究所所有,仅供学习研究参考,未经过机械工业仪器仪表综合技术经济研究所授权不得商用。

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