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本发明公开双电极结构带裙边的W形微机电半球陀螺仪,包括谐振壳体,谐振壳体呈盆形,谐振壳体底面中心向开口侧凹陷,使谐振壳体内形成环形凹槽;环形凹槽由开口侧向封闭侧渐缩,使谐振壳体的纵剖面W形;谐振壳体沿顶部外边缘设有裙边;谐振壳体下方对应设有...该专利属于北方电子研究院安徽有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北方电子研究院安徽有限公司授权不得商用。
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本发明公开双电极结构带裙边的W形微机电半球陀螺仪,包括谐振壳体,谐振壳体呈盆形,谐振壳体底面中心向开口侧凹陷,使谐振壳体内形成环形凹槽;环形凹槽由开口侧向封闭侧渐缩,使谐振壳体的纵剖面W形;谐振壳体沿顶部外边缘设有裙边;谐振壳体下方对应设有...