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耦合纳米机械振子及其形成方法技术
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下载耦合纳米机械振子及其形成方法的技术资料
文档序号:17185428
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本申请提供一种耦合纳米机械振子及其形成方法,其中耦合纳米机械振子包括:衬底;依次悬空于衬底表面的第一纳米机械振子单元和第二纳米机械振子单元;其中,第一纳米机械振子单元为耦合单元,第二纳米机械振子单元为工作单元,所述工作单元具有光学模式和机械...
该专利属于江西师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过江西师范大学授权不得商用。
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