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一种环抱臂夹具，包括用于夹持真空室组件的两个环抱臂，环抱臂用于夹持在真空室组件的两侧，给组件施加一定的预紧力；还包括用于支撑环抱臂的支撑机构，环抱臂与支撑机构之间铰接，铰接轴沿竖直方向布置；环抱臂与支撑机构之间还设有用于驱动环抱臂摆动的驱动...
该专利属于合肥工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过合肥工业大学授权不得商用。

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