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本实用新型提供了一种镀膜装置及镀膜系统，涉及镀膜设备的技术领域。所述镀膜装置，包括：真空泵、反应室、蒸发源和工件架；所述真空泵通过导气管与所述反应室连通；所述反应室中央位置设置有旋转台，多个蒸发源设置在所述旋转台上，所述蒸发源的上方设有蒸发...
该专利属于南阳凯鑫光电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南阳凯鑫光电股份有限公司授权不得商用。

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