下载微刻机及其切割方法的技术资料

文档序号:17165725

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本发明涉及一种微刻机及其切割方法。上述的切割方法用于切割基板,切割方法的步骤包括:提供一基板;于基板的两侧分别按第一预定深度进行去刀切割,即第一次去刀切割步骤;于基板的两侧分别按第一回刀量进行回刀,即第一次回刀步骤;于基板的两侧分别按第二预...
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