下载一种P型晶体硅太阳能电池的制备方法的技术资料

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本申请公开了一种P型晶体硅太阳能电池的制备方法,包括:对制绒之后的P型硅片正面进行磷扩散,得到的磷扩散层形成发射结;对所述磷扩散层进行热氧化,形成隧道氧化层;在所述隧道氧化层上面沉积厚度范围为5nm至20nm的多晶硅薄膜;去除所述P型硅片背...
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