下载一种微流体激励微器件自装配装置及方法的技术资料

文档序号:17163729

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本发明公开了一种微流体激励微元件自装配装置及方法。该装置包括基板和隔板,基板上具有刻蚀出的凹坑阵列,每个凹坑与微元件的外形相匹配,微元件由载体溶液承载,隔板与基板构成装配腔,隔板上开有与基板上的凹坑相对应的微喷阵列,两个弯曲型压电振子分别贴...
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