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本发明公开了一种纳米压印模板，其包括模板主体、设置在模板主体上的若干光刻胶微结构、以及包覆在光刻胶微结构外层的氟橡胶聚合物层；其中，氟橡胶聚合物层与模板主体之间具有键结作用，以使氟橡胶聚合物层固定连接在模板主体的表面。根据本发明的纳米压印模...
该专利属于武汉华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉华星光电技术有限公司授权不得商用。

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