下载一种低成本、高精度调节的XY两向移动平台的技术资料

文档序号:17158701

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本申请公开了一种低成本、高精度调节的XY两向移动平台,属于可移动平台技术领域。该结构包括底座、借助X向驱动系统安装在底座上的X向移动座以及借助Y向驱动系统安装在X向移动座上的Y向移动座,底座、X向移动座和Y向移动座依次层叠设置且接触面之间均...
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