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本实用新型提供了一种MEMS麦克风，包括背极板、与背极板相对设置的振膜；其中，背极板包括面向振膜的第一表面，在第一表面设置有介质层；其中，设置在第一表面的中间部分的介质层的介电常数小于设置在第一表面的周边部分的介质层的介电常数。通过本实用新...
该专利属于歌尔科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过歌尔科技有限公司授权不得商用。

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