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用作腐蚀探测器的触点过孔链制造技术
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文档序号:17144955
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本发明涉及一种用于确定有故障的半导体元件(101)的探测器(100),其具有:半导体元件(101)、与所述半导体元件(101)横向间隔开地布置并局部地包围所述半导体元件(101)的触点过孔链(102)、与所述半导体元件(101)横向间隔开地...
该专利属于罗伯特·博世有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过罗伯特·博世有限公司授权不得商用。
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