下载铌酸锂单晶基板及其制造方法的技术资料

文档序号:17142757

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本发明的课题是提供一种温度、时间等相关的处理条件的管理容易而且体积电阻值的面内分布极少的铌酸锂(LN)基板及其制造方法。本发明的解决方案是使用通过切克劳斯基法培养成的LN单晶制造LN基板的方法,其特征在于,将单晶中的Fe浓度超过1000质量...
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