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本实用新型公开了一种研磨机或抛光机的上盘结构,包括机架、上盘升降机构、复数个上磨盘、与上磨盘数量相同的上磨盘驱动机构和与上磨盘数量相同的上磨盘升降机构,上磨盘由独立的上磨盘升降机构驱动。本实用新型的多个上磨盘可以采用不同的工艺磨盘,不同的工...该专利属于深圳赛贝尔自动化设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳赛贝尔自动化设备有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种研磨机或抛光机的上盘结构,包括机架、上盘升降机构、复数个上磨盘、与上磨盘数量相同的上磨盘驱动机构和与上磨盘数量相同的上磨盘升降机构,上磨盘由独立的上磨盘升降机构驱动。本实用新型的多个上磨盘可以采用不同的工艺磨盘,不同的工...