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本发明提供一种多级电热驱动大位移大转角MEMS执行器，包括一衬底和位于该衬底上的多级驱动单元，所述多级驱动单元的每一级驱动单元都包括一驱动端、一宽梁和一窄梁；所述宽梁和窄梁处于平行于所述衬底的同一平面内，一端共同连接于所述驱动端，另一端分别...
该专利属于中国传媒大学;北京大学所有，仅供学习研究参考，未经过中国传媒大学;北京大学授权不得商用。

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