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一种利用GaN基HEMT器件反向栅源电流在线测量结温的方法，属于电子器件测试领域。将被测HEMT器件1固定在恒温平台上。然后利用半导体器件分析仪，设置相关参数，测量不同栅源电压Vgs、漏源电压Vds下，的反向栅源电流Igs，再改变恒温平台的...
该专利属于北京工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京工业大学授权不得商用。

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