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本发明公开了一种显微镜焦点偏移测量设备。包括激光器，发射光束；空间滤波模块，由两块中心轴重合布置的透镜以及位于两块透镜之间的一针孔构成，对光束进行滤波处理；可调小孔，调整视场光阑；缩束模块，缩小光束的直径；分束镜，分成透射与反射两束光；图像...
该专利属于中国科学院苏州生物医学工程技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院苏州生物医学工程技术研究所授权不得商用。

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