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移动体的控制方法，包含：使能够在XY平面内移动的移动体(22)沿Y轴方向移动，同时一边使从标记检测系统(50)照射的测量束相对于载置于该移动体(22)的晶圆(W)上设置的多个格子标记的中的一部分格子标记沿Y轴方向扫描，一边检测该一部分格子标...
该专利属于株式会社尼康所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社尼康授权不得商用。

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