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液体涂布单元及液体涂布装置制造方法及图纸
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下载液体涂布单元及液体涂布装置的技术资料
文档序号:17102940
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涂布单元(4)的直动机构(130)包括偏心板(116)、偏心轴(114)、线性导轨(132)、连结板(112)、可动部(108)、连结轴(110)以及轴承(122、124)。偏心板(116)随伺服电动机(120)而旋转,并安装于与涂布针保持...
该专利属于NTN株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过NTN株式会社授权不得商用。
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