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用于管理气体纯化的方法和系统技术方案
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下载用于管理气体纯化的方法和系统的技术资料
文档序号:17102839
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提供了一种用于延长吸附剂的使用寿命的方法,该吸附剂用于通过吸附杂质来纯化气体。该方法包括在气体内产生放电以获得代表杂质的浓度的光谱发射。该方法还包括根据光谱发射监测杂质的浓度。该方法还包括通过将杂质的至少一部分转化为与该杂质相比对吸附剂具有...
该专利属于机械解析有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过机械解析有限公司授权不得商用。
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