下载一种等离子体激励的非高温扩散掺杂装置及方法的技术资料

文档序号:17101583

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本发明公布了一种等离子体激励的非高温扩散掺杂装置及方法。该装置在真空腔室顶部设置等离子体发生单元和等离子体耦合窗口,在紧挨等离子体耦合窗口下设置平行板腔,平行板腔的上下板暴露于真空腔室中的表面均沉积有掺杂杂质层,下板位于可升降支架上的恒温中...
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