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一种元素与缺陷的激光光声复合检测方法及其系统技术方案
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文档序号:17095991
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本发明公开了一种元素与缺陷的激光光声复合检测方法及系统,属于激光材料检测领域,利用脉冲激光器入射到分析样品上产生等离子体和超声波,能同时分析样品元素组分和结构缺陷。检测系统包括脉冲激光器、光谱探测单元、超声波探测单元、样品台单元以及分析控制...
该专利属于华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学授权不得商用。
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