下载一种红外热成像快速无损检测薄膜厚度均匀性的方法的技术资料

文档序号:17095543

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本发明提供了一种红外热成像快速无损检测薄膜厚度均匀性的方法。该方法利用加热装置提供均匀、稳定的热通量加热待测薄膜,加热后的薄膜向外发出红外辐射,红外摄像装置接收辐射信号,并将辐射信号转变成电信号,经后处理装置处理后,将待测薄膜表面的温度分布...
该专利属于湘潭大学所有,仅供学习研究参考,未经过湘潭大学授权不得商用。

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